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無塵室內防止微粒子汙染的幾項基本原則
作者:admin 更新時間:2018-12-30 15:29 瀏覽:

       無塵室(Clean Room)是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣和細菌等汙染物排除,並將室內的溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而特別設計的房間。使用高效過濾器,就可以使無塵室內的浮遊微粒子濃度達到零水平,保證產品的質量。實際的生產現場,由於作業者、機器和周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在生產產品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔麵的粒子汙染。那麽,無塵室內該如何避免這種微粒子汙染呢?可以從以下幾個方麵入手:

無塵室

      1、不攜入
      在無塵室內,要想不攜入微粒子,需要遵守以下規則:
      1)作業員進入無塵室前,機台、零件攜入前應進行清潔處理。
      2)進入無塵室的相關人員,在更衣室要穿著防靜電服等。
      3)通過風淋室時,利用高速幹淨空氣,除去附在衣服表麵的粒子後,才能進入無塵室。
      4)機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下。帶進無塵室前室保養後,用超純水擦拭,經風淋室吹淋後才進入無塵室。
      5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽,佩戴附有過濾器的排氣用小型風機於腰間。  

      2、不發生
      不但要控製操作人員在無塵室內微粒子的發塵量,也應該控製製造機台的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控製發塵量達到極小限度應采取以下方法:
      1)減少接觸剝離發塵的動作形態。
      2)采用磨耗發塵小的材質。
      3)采用發塵小的潤滑油。
      4)機台應用非接觸化工作原理。

      3、不儲備
      若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔淨度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及製造機台的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔淨度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用,以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表麵。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子汙染的危險性。
      在極高等級的無塵室中從天花板到地麵,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時空氣的流向也必須要有精確的控製才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排,長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備的表麵而引起汙染。
      控製氣流可防止微粒子累積,但對於帶電表麵的微粒累積就無法防止。
      為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對於製造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,並借助除電裝置進行除電。

      4、排除/除去
      在無法避免大量微粒子發生的機台中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接對外排氣,即所謂的局部排氣。
      總之,無塵室內防止微粒子汙染,既要從技術角度入手,也要操作人員按規範操作,才能較大限度地保證無塵室潔淨的工作環境。


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